產品特點

SU3800/3900是日立綜合型落地式鎢燈絲掃描電鏡，集優異性能、操作簡便性、多樣化功能于一身。其中，SU3800為旗艦機型，SU3900支持大型樣品測試，可同時觀察直徑200mm以上的區域

1. 高質量成像

全自動束流調整功能，可優化的發射束流功能^*1，即使在較低的加速電壓下也能獲得足夠的亮度，高信噪比圖像，更廣泛的用于高分辨觀察與低壓下表面觀察。

                        (a)                                                   (b)

(a) *1 SU3800/3900優化的發射束流功能，即使在較低的加速電壓下，也可以獲取足夠高的發射束流

(b) 1.5 kV觀察金剛石表面的鎢顆粒BSE圖像

2. 具有多探頭成像能力，可滿足多種觀察需求

SU3800具有二次電子探測器、5分割高靈敏度背散射電子探測器、可變壓力二次電子探測器（UVD）*等多種探測器，既可以獲得高分辨的形貌信息，也可以獲得樣品的成分、晶體去向、凹凸、陰影等信息，還可以獲得陰極熒光等信息

3. *的自動化功能

3.1 提升的自動聚焦、亮度/對比度功能

采用了新的算法，提高了自動聚焦精度，等待時間減少至以往的1/3以下（※S-3700N比例）

3.2 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）

? 自動監視燈絲的狀態，自動控制使其一直處于*性能的狀態

? 搭載顯示燈絲更換時間的顯示屏

? 可有效延長燈絲的使用時間

3.3 SEM MAP支持大樣品的全視野觀察

相機導航系統通過圖像拼接功能可以實現大視野的SEM MAP觀察。觀察區域為直徑130mm（SU3800）/ 直徑200mm（SU3900），并且可以與樣品臺R一起聯動，移動到大型樣品的*觀察區域。

4. *的低真空成像能力

?  SU3800的擴展可變壓力真空范圍為6-650Pa，高低真空之間可實現一鍵切換，無需重新安裝壓差光闌，節省時間，降低操作難度。

?  配備了高靈敏度低真空探測器UVD。除了樣品表面的凹凸圖像之外，還可以通過檢測電子束照射樣品而產生的陰極熒光，來獲取CL信息。

5. 配備了多功能大樣品倉，可以搭載多種配件

?  可適配大尺寸樣品，*可達直徑300mm/高度130mm（SU3900，不拆卸樣品臺，5軸馬達臺可用）

?  可升級EDS、EBIC、EBSD、CL、冷臺、加熱臺、拉伸臺、冷凍傳輸系統、光學顯微鏡、樣品交換倉等一起使用

?  具有日立的樣品更換輔助操作步驟，可以完全避免因為人為的誤操作而導致樣品污染或損壞