CINDBEST CGO-4 | 2~6 高低溫真空探針臺測試系統

極低溫測試:

因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。

高溫無氧化測試：

當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。

晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。

◆ 腔體規格：

型號：CGO-2/CGO-4/CGO-6

樣品臺尺寸：2英寸/4英寸/6英寸

樣品固定：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸/4英寸/6英寸

真空度：10-6torr

探針臂接口：4~6個探針臂接口

其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦/制冷機

溫度范圍：77K到573K/4.5K到573K

溫控精度：0.1K/0.01K/0.001K

穩定性：±1K/±0.1K/±0.01K

外形：880mm長*880mm寬*600mm高/980mm長*980mm寬*600mm高

重量：約100千克/120千克

◆ 光學系統：

顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率：16X-200X/20X-4000X

移動行程：水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm

光源：外置LED環形光源/同軸光源

CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

◆ 探針臂：

X-Y-Z移動行程：50mm*50mm*50mm

結構：外置探針臂，真空波紋管結構

移動精度：10微米/1微米

線纜：同軸線/三軸線/射頻線

漏電精度：10pA/100fA/10fA

固定探針：彈簧固定/管狀固定

接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

頻率支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米

◆ 其他組件：

真空組件：分子泵組/機械泵/離子泵

冷源組件：50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機

◆ 可選附件

高溫配件

顯示器

轉接頭

射頻測試配件

屏蔽箱

光學平臺

鍍金卡盤

光電測試配件

高壓測試配件

分子泵組

激光系統

氣敏測試配件

規格及設計如有更改，恕不另行通知。