EBARA荏原干式真空泵EV-S200(P/N)由深圳市京都玉崎電子有限公司供應,并提供報價圖片,!
EV-S型 干式真空泵
EV-S 型為獨立安裝的羅茨型干泵,有著從輕制程工藝(如:load lock、 SEM)到腐蝕性工藝的廣泛應用范圍。擁有抽氣速率可變、通信功能等豐富附 加功能的同時,實現了“ 低能耗、占地小、輕量化 ”。
特點
在“低能耗、占地小、輕量化”方面達到業內*水平;耐腐蝕材料、氮氣吹掃功能(可選);在不同頻率(50/60Hz)下性能一致;通過增強的傳感功能減少停機時間.
EBARA 荏原干式真空泵是荏原公司推出的一系列無油真空泵產品,具有清潔、節能、緊湊等特點,廣泛應用于半導體、光伏等領域。以下是其主要介紹:
產品特點
無油清潔:采用非接觸式密封技術,無需使用油或液體進行密封,能實現清潔真空,避免油和水的回流或擴散,適用于對真空環境要求較高的場合。
節能高效:的優化轉子設計,提高了壓縮效率,降低了功耗。部分型號還具備怠速模式,可進一步節省能源。
小巧輕便:具有小型輕量化的設計特點,占用空間小,便于安裝在有限的空間內,且一些型號易于搬運,適合需要多次移動的應用場景。
低噪音振動:運行時噪音和振動水平較低,能為用戶提供較為安靜的工作環境,同時也有助于設備的穩定運行和延長使用壽命。
智能控制:具備*的控制管理功能,如數據保存、警報履歷備份等,部分型號還可通過可編程的 LCD 控制器進行手動預警設置,方便用戶監控和管理設備。



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