Edwards愛德華真空泵作為工業真空領域的,其產品廣泛應用于多個高精度、高潔凈度要求的行業,以下是其主要應用領域及技術特點:
1. ?半導體制造?
應用于晶圓制造、刻蝕、CVD(化學氣相沉積)、ALD(原子層沉積)、封裝和測試等環節,需滿足嚴苛的真空環境要求?
例如IXH1210H干泵在300mm半導體工廠中通過高可靠性實現低擁有成本?
2. ?光伏與電子行業?
適用于晶體硅、CdTe、CIGS等光伏電池制程,提供干式真空泵和渦輪分子泵(TMP)解決方案?
LED封裝工藝中用于抽真空排泡,如E2M80旋片泵在點粉灌膠環節的應用?
3. ?PCB(印刷電路板)生產?
清洗設備中用于去除鉆孔殘留物和蝕刻液,需高抽速和耐腐蝕設計?
4. ?制藥與化工?
冷凍干燥、油脂脫臭等工藝中,E2M系列旋片泵因耐用性被廣泛采用?
GV80泵組在化工行業通過無油設計降低37%運維成本?。
5. ?科研與實驗室?
RV系列泵(如48分貝低噪音設計)用于質譜分析、電子顯微鏡等精密實驗?
EPX干泵因無油污染特性,適合高真空循環應用?
6. ?其他工業領域?
食品包裝、玻璃鍍膜、吸塑機械等場景,通過定制化真空系統優化成本?
Edwards真空泵以干式技術(如GXS1601750機組)、低維護成本和模塊化設計為核心優勢,覆蓋從粗真空到高真空的全需求?
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