特點

• 兩級排氣系統與單級排氣系統相比具有更低的壓力（良好的真空）。

• 低噪音低震動。

• 安裝了防回流機構，在因停電而停止時，可以防止油流回真空室。

• 安裝了強制供油機構，排氣速度穩定。

• 大氣壓下可運作。

• 通過內部零件上的定位銷，連接法蘭部件更容易。

應用

• 化學，科學實驗，分析儀和激光系統。

• 用于電子顯微鏡的背泵。

• 半導體設備，濺射設備，真空蒸發設備。

• 真空干燥機，冷凍干燥機。

規格

※1：極限壓力是皮拉尼真空計的測量值。
　　　（McLeod真空計測量時、對于極限力為1.3 Pa或更低的泵，該值低一位數。）
※2：不包括電源插頭和電源線。

對應標準/電壓

：標準、○：可選對應、－：對應不可
※ＴＵＶ：本產品是通過國際第三方產品安全測試和，符合歐洲標準的高質量產品。
※ｃＴＵＶｕｓ ： 本產品是通過國際第三方產品安全測試和，符合美國標準的高質量產品。

使用上的注意

1　真空泵油隨著運作而變差，是導致泵性能不佳的原因。
請定期檢查是否有油損和污染，以及重新加注和更換。

2　防回流閥機構在電源故障等緊急時防止泵油回流到真空槽。
長時間停止后，將真空側恢復到大氣壓。

3　排氣口的油煙（油霧）尤其容易在大氣壓附近產生。

4　不適合在10kPa或更高的高吸入壓力下連續操作。

5　如果在排氣口關閉或排氣口側氣體通道堵塞的情況下操作泵，則存在爆炸的風險。
泵的內部壓力可能升高，泵體可能爆裂，油位計可能會彈出，電機可能會過載。

6　使用碳作為泵內部材料
在運行過程中，碳的磨損可能與油混合并變暗，但泵的壽命和性能不會受到影響。

7　該電動機的過載保護裝置為自動復位型。 如果在真空泵運行期間啟動過載保護裝置，則當電機繞組下降時，自動運作將恢復。
為防止發生事故，請在過載保護裝置啟動時立即拔下電源插頭。

尺寸圖

排氣速度曲線