特點

• 兩級排氣系統(tǒng)與單級排氣系統(tǒng)相比具有更低的壓力（良好的真空）。

• 低噪音低震動。

• 安裝了防回流機(jī)構(gòu)，在因停電而停止時，可以防止油流回真空室。

• 安裝了強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)，排氣速度穩(wěn)定。

• 大氣壓下可運作。

• 通過內(nèi)部零件上的定位銷，連接法蘭部件更容易。

應(yīng)用

• 化學(xué)，科學(xué)實驗，分析儀和激光系統(tǒng)。

• 用于電子顯微鏡的背泵。

• 半導(dǎo)體設(shè)備，濺射設(shè)備，真空蒸發(fā)設(shè)備。

• 真空干燥機(jī)，冷凍干燥機(jī)。

規(guī)格

※1：極限壓力是皮拉尼真空計的測量值。
　　　（McLeod真空計測量時、對于極限力為1.3 Pa或更低的泵，該值低一位數(shù)。）
※2：不包括電源插頭和電源線。

對應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)/電壓

：標(biāo)準(zhǔn)、○：可選對應(yīng)、－：對應(yīng)不可
※ＴＵＶ：本產(chǎn)品是通過國際第三方產(chǎn)品安全測試和，符合歐洲標(biāo)準(zhǔn)的高質(zhì)量產(chǎn)品。
※ｃＴＵＶｕｓ ： 本產(chǎn)品是通過國際第三方產(chǎn)品安全測試和，符合美國標(biāo)準(zhǔn)的高質(zhì)量產(chǎn)品。

使用上的注意

1　真空泵油隨著運作而變差，是導(dǎo)致泵性能不佳的原因。
請定期檢查是否有油損和污染，以及重新加注和更換。

2　防回流閥機(jī)構(gòu)在電源故障等緊急時防止泵油回流到真空槽。
長時間停止后，將真空側(cè)恢復(fù)到大氣壓。

3　排氣口的油煙（油霧）尤其容易在大氣壓附近產(chǎn)生。

4　不適合在10kPa或更高的高吸入壓力下連續(xù)操作。

5　如果在排氣口關(guān)閉或排氣口側(cè)氣體通道堵塞的情況下操作泵，則存在爆炸的風(fēng)險。
泵的內(nèi)部壓力可能升高，泵體可能爆裂，油位計可能會彈出，電機(jī)可能會過載。

6　使用碳作為泵內(nèi)部材料
在運行過程中，碳的磨損可能與油混合并變暗，但泵的壽命和性能不會受到影響。

7　該電動機(jī)的過載保護(hù)裝置為自動復(fù)位型。 如果在真空泵運行期間啟動過載保護(hù)裝置，則當(dāng)電機(jī)繞組下降時，自動運作將恢復(fù)。
為防止發(fā)生事故，請在過載保護(hù)裝置啟動時立即拔下電源插頭。

尺寸圖

排氣速度曲線